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细美事申请基板处理方法以及基板处理装置专-利,用于将形成在基板上的薄膜以原子层单位进行蚀刻
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金融界2024年12月12日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“基板处理方法以及基板处理装置”的专-利,公开号CN119108298A,申请日期为2024年3月基板。专
2025-02-28
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