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爱玻索立克申请基板夹具及利用此的基板传送方法专-利,可稳定吸附及支撑基板
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金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,爱玻索立克公司申请一项名为“基板夹具及利用此的基板传送方法”的专-利,公开号CN119059274A,申请日期为2023年12月基板。
2025-02-28
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